Á sviði þriðju-kynslóðar hálfleiðaraframleiðslu eru kísilkarbíðskúffubakkar og -hleðslur orðnir óbætanlegur lykilþáttur vegna tæringarþols þeirra og mikillar varmaleiðni. Hins vegar hafa sársaukapunktar iðnaðarins sem afhjúpast við vinnslu þeirra lengi plagað nákvæmnisframleiðslufyrirtæki.
Dæmigert vinnslumál
Vinnsluverkefni með kísilkarbíðskífubakka sem ákveðið fyrirtæki tekur að sér, krefst þess að lokið sé við að mala hola og gróp uppbyggingu á D380x5mm vinnustykki. Hörku þessa efnis nær HV2,002, sem er nálægt 1/3 af hörku náttúrulegs demants. Tíð vandamál með brúnhrun við vinnslu leiddu til flutningshlutfalls sem var innan við 60% og hefðbundin verkfæri voru eytt á 159 mínútum og vinnsla eins stykkis tók allt að 888 mínútur.
Verkir í vinnslu iðnaðarins
SiC efni standa frammi fyrir þremur stórum áskorunum í hefðbundinni vinnslu vegna mikillar hörku og stökkleika:
Flögnunarhlutfall brúna vinnustykkisins er yfir 35%
Slithlutfall verkfæra er 3-5 sinnum hærra en hefðbundin efni
Erfitt er að viðhalda stöðugri nákvæmni yfirborðsgrófleikastýringar ±0,5μm
BISHENnýsköpunaraðferðir lausna
Til að bregðast við sérstökum þörfum kísilkarbíðvinnslu, innleiddi tækniteymi BISHEN þriggja-þreps nýsköpun í ferlinu:
• Kynning á 20kHz ultrasonic titringi aðstoðað vinnslukerfi
• Að sérsníða samþættan PCD ör-blaðfresara (brún R horn 0,02 mm)
• Þróa aðlögunarhæft aðlögunaralgrím til að klippa breytur
Niðurstöður úr ferli uppfærslu
Framleiðslugögnin eftir umbreytingu búnaðar sýna:
1. Flögnunarhlutfallið hefur lækkað í minna en 8%
2. Vinnslutími eins stykkis hefur verið fínstilltur í 462 mínútur
3.Ending tækisins hefur farið yfir 317 mínútur
4.Yfirborðsgrófleiki er stöðugt stjórnað við Ra0.4μm
