Tilviksrannsókn: Bylting í vinnslu kvarsglers undirlags
Vinnsluhlutur: hvarfefni úr kvarsgleri fyrir ljóslithography
Tæknilýsing:
Efni: 99,99% há-kvarsgler
Vinnslueiginleikar: tvíhliða -hliða C0.2 ská + lóðréttur hliðarveggur
Yfirborðskröfur: Ra < 150nm (spegill)
Mál: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
Greining á verkjapunktum iðnaðarvinnslu
Sem kjarna rekstrarvörur hálfleiðaraframleiðslubúnaðar þurfa kvarshlutar fyrir ljósþurrkun að uppfylla þrjá stranga staðla á sama tíma: efnisflutningur > 99,6%, víddarþol ±10μm og ójöfnur hliðarvegg Ra < 150nm. Hin hefðbundna vinnsluaðferð notar mala hjólaferli, sem hefur tvö helstu vandamál í iðnaði:
Skilvirkni flöskuháls: Vinnsla eins-stykkja tekur allt að 120 mínútur
Yfirborðsgallar: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Verkfæratap: Venjulegt verkfæri er minna en 50 stykki
BISHENlausnir tækninýjungar
Með hliðsjón af hörðum og brothættum eiginleikum kvarsefna, samsett efnivinnslulausner samþykkt:
• 20kHz ultrasonic nákvæmni leturgröftur og mölunarkerfi
• Innbyggður PCD ör-blaðfresari (brún R0,05 mm)
• Áslaga lagskipt skurðarferli (2μm á hvert lag)
Samanburður á mældum vinnslukostum
Með sannprófun ferla og samanburði hafa lykilvísar verið bættir verulega:
Umsóknargildi iðnaðarins
Þessi lausn leysti með góðum árangri „flöskuháls“ vinnsluvandamálið í staðsetningarferli steinþrykksvélahluta, jók framleiðslugetu kvars undirlags úr 10 stykki á dag í 50 stykki og vinnsluhæfishlutfallið úr 63% í 98,5%. Samkvæmt uppgötvun Zeiss leysir interferometer er nákvæmni PV gildi vinnsluyfirborðsins<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
UmBISHEN
Bishen Precisionsérhæfir sig í nákvæmri vinnslu vélbúnaðarhluta, með 7.500 fermetra af stöðluðum verkstæðum, og þjónustan nær til geimferða, lækningatækja, iðnaðarvélmenna og fleiri sviða. Með getu til að vinna úr flóknum burðarhlutum og ISO kerfisvottun veitir það viðskiptavinum heildar-ferlalausnir frá hönnun og þróun til fjöldaframleiðslu.
