Greining á vinnsluhlut
Efni: Optískt kvarsgler
Vinnslueiginleikar: multi-yfirborðsslípun (þar á meðal 3 ósamhverfar hliðar)
Lykilstærðir: 16×16×10mm (villa ±0,002mm)
Þetta kvarsprisma, sem er aðeins á stærð við fingurnögl, er-kjarna ljósleiðarþáttur sjónkerfis háþróaðrar- steinþrykksvélar. Hinir 8 flóknu bognu yfirborð hennar þurfa að ná 99,6% straumstyrk og nanómetra-brotsnákvæmni og yfirborðsgrófleiki hefur bein áhrif á lýsingarupplausn steinþrykkjavélarinnar.
Verkjapunktar í iðnaði og tæknilegir erfiðleikar
Ljóstæknifyrirtæki lenti í flöskuhálsi í kvarsprismavinnslu þegar það var að stuðla að staðsetningu steinþrykkjavéla:
Hefðbundnar malagalla: Grófleiki eftir handvirka fægingu nær enn Sa 120nm, sem leiðir til 15% ljósdreifingartaps
Búnaður háður innflutningi: Kostnaður við eina japönsku ör-nákvæmniskvörn fer yfir 20 milljónir júana og afhendingartíminn er allt að 18 mánuðir
Ávöxtunarkreppa: Aðeins 32 af fyrstu lotunni af 500 prufuframleiðslum uppfylltu staðlana, sem dró verulega niður framvindu verkefnisins
Vandamálið „hefur ekki efni á innfluttum búnaði og innlendir ferlar eru ekki góðir“ hindraði beint ferlið við þróun sjálfstæðrar steinþrykksvélar.
BISHENlausn lausna
Til að bregðast við mikilli nákvæmni kröfum ljóshluta hefur BISHEN tækniteymið þróað nýstárlegar rannsóknir og þróun:
1. Ultrasonic lóðrétt fimm-ása tengivinnslukerfi
2. 0.1μm-kraftmikil jöfnun, nákvæm stjórn á 18-ása tengingarvélum
3. Samsvörun ósamhverfa yfirborðs CAD/CAM greindar forritun
4. Há-úthljóðsslípunartækni
5. 40kHz ultrasonic titringur dregur úr 52% af skurðarálagi og forðast kvars örsprungur
6. Líftími demants ör-duftslípihjóls lengist um 3 sinnum
Raunverulegt mælt árangursstökk
Þrjár helstu byltingar hafa náðst í fjöldaframleiðslu á ákveðinni tegund af innlendum lithography vél prisma:
1.Yfirborðsgæði: Grófleiki Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Vinnsluhagkvæmni: Vinnutími eins-stykkja er þjappaður úr 14 klukkustundum í 3,5 klukkustundir
3. Kostnaðareftirlit: Búnaðarfjárfesting er aðeins 1/5 af innfluttu lausninni
Afraksturshlutfall fyrstu lotunnar af 3.000 vörum fór í 98,7%, sem hjálpaði viðskiptavinum að klára samsetningu frumgerða 6 mánuðum á undan áætlun
UmBISHEN
BishenPrecision Technology (stofnað árið 2017) leggur áherslu á að brjótast í gegnum „flöskuháls“ tæknina á sviði háþróaðrar-framleiðslu. Það hefur byggt 7.500 fermetra stafræna verksmiðju í Dongguan, búin innfluttum búnaðarþyrpingum eins og fimm-ása tengingarvinnslustöðvum og ofur-nákvæmni ljósslípum. Með því að beita nýstárlegri tækni eins og ultrasonic machining og cryogenic cutting til hálfleiðarabúnaðar, sjón-rafeindatækja og annarra sviða, hefur það veitt lykilhlutavinnslulausnir fyrir meira en 20 innlend steinprentvélaiðnaðarkeðjufyrirtæki, og hefur afhent meira en 500.000 nákvæmni ljóshluta.
