Einn af hálfleiðurum viðskiptavinum okkar-sem er OEM-undirstaða í ESB sem sérhæfir sig í EUV steinþrykk-leit til okkar með áskorun: að framleiða háan-þéttleikamicrochannel kæliplataúr 6061-T6 áli. Íhluturinn sem krafist er yfir1.200 míkró-göt, hverØ 0,18 mm, með ahlutfall dýptar-til-þvermáls 10:1, ogstaðsetningarnákvæmni undir ±5 μmyfir allt yfirborð hlutans.
Helstu áskoranir voru:
Verkfæri brotvegna mikilla stærðarhlutfalla
Viðhaldholu beinlínisyfir langt bordýpi
Að tryggjaflísaflutningurán þess að afmynda ör-götin
Að koma í veg fyrirhitauppstreymivið samfellda borun
Til að takast á við þetta störfuðum við:
Sérhæfð ör-borverkfærimeð innri kælivökvarásum
Fjöl-þreppeck borunaraðferðirmeð dvalar- og afturköllunarstýringu
Úthljóðsroði-aðstoðtil að tryggja flísahreinsun
Í-vinnsluhitastöðugleikiá milli passa til að stjórna stækkun
Eftir margar endurtekningar og uppgerð, innleiddum við a2-passa borun og upprifjunsem náði stöðugri rúmfræði hola og-lausu innra yfirborði. Eftir-vinnsluskoðun með því að nota a500× stafræn smásjáogCMM með prófunarskönnunstaðfest:
Allar holur að innan±3 μmþolhljómsveit
Yfirborðsgrófleiki að neðanRa 0,2 μm
Frávik holu-til-holabils innan±4 μmyfir 150 mm × 150 mm fylki
Íhluturinn stóðst helíumlekaprófanir, prófun á skilvirkni hitaflutnings og var samþykktur í tilraunabyggingu viðskiptavinarins án endurvinnslu.
