Í hálfleiðaraiðnaði,míkron-nákvæmnier ekki lúxus-það er grunnlína. Íhlutir sem notaðir eru ímeðhöndlunarkerfi fyrir oblátur, ætingarklefa, ogljóslitafræðiverkfærikrefjastvíddarvikmörkoft undir 5 míkron. Hefðbundnar CNC vinnsluaðferðir eiga í erfiðleikum með að mæta slíkum kröfum án sérhæfðrar vinnslustýringar og mælifræði.
Áskorunin: Þegar míkron skiptir máli
Ólíkt hefðbundnum iðnaðarhlutum verða hálfleiðaraíhlutir:
Viðhaldamikil flatneskju og hliðstæður
Hefnákvæm holustilling og halla
Tryggjalágmarks yfirborðsgallasem gæti haft áhrif á lofttæmi eða sjónvirkni
Jafnvel minnsta frávik getur leitt til:
Misskipting við oblátaflutning
Tap á nákvæmni í vörpun ljósmyndagrímu
Uppskerutap vegna mengunar eða rúmfræðilegs reks
Raunverulegt-heimsdæmi: Lithography Tool Frames
Í einu verkefni sem felur í sér aléttur ramma úr álifyrir ljóslitakerfi,undir 5 μm þolvar krafist á uppsetningarflötum til að tryggjafullkomin yfirlagsstillingaf flísamynstri.
Til að ná þessu sóttum við:
5-ása CNC vinnsla með hitauppbót
Lítill- titringur, há-hraði snældastýring
Rauntími-víddarleitar- og endurgjöfarlykkjur
Án slíkrar nákvæmni gæti aðeins 10 μm breyting skekkt jöfnun grímunnar og dregið úr flísafrakstri-og kostað viðskiptavininn umtalsverðan niðurtíma og efnistap.
Ferlið okkar klBISHEN Nákvæmni
Við þjónum hálfleiðurum OEM með:
Ofur-nákvæm CNC fræsun og snúningur (±2~5μm endurtekningarnákvæmni)
Ra Minna en eða jafnt og 0,2μm yfirborðsfrágangurfyrir mikilvæg þéttingu eða sjónsvæði
Cleanroom-samhæfar umbúðir
CMM og laserskönnun skoðun með rekjanlegum skýrslum
Liðið okkar skilurgagnrýni hverrar míkron-og styður það með reynslu í að þjóna bæði R&D og há-blöndun í litlu-framleiðsluumhverfi.
Hvers vegna það skiptir máli
Í hálfleiðaraframleiðslu er rúmfræði allt. Hvers kyns röskun, misskipting eða burt getur leitt til:
Mynstur röskun
Mistök í meðhöndlun obláta
Bilun í tómarúmskerfi
Nákvæm vinnsla snýst ekki bara um þröng vikmörk-það snýst um að tryggjavirkni og áreiðanleikanæstu-kynslóðar flísaframleiðslubúnaðar.
