Vinnsla vara og tæknilegur bakgrunnur
Framleiðandi hálfleiðarabúnaðar hóf nýlega staðsetningarverkefni fyrir kísilkarbíð úðaplötur, sem krefst þess að vinna tvær gerðir af fylkis örholum, D0,5×6,5 mm (dýpt-til-þvermálshlutfall 13:1) og D1×6,5 mm á kísilkarbíð undirlagi 70 með HV2, hörku HV2, hörku. Sem kjarnahluti þriðju{10}kynslóðar ætingarbúnaðar fyrir hálfleiðara hefur þessi íhlutur lengi verið háður innflutningi. Vinnslunákvæmni þess hefur bein áhrif á afrakstur flísaframleiðslunnar og flísastýringin og dýpt-til-þvermálshlutfallsbyltingarinnar í örholuvinnslu eru orðnir lykilflöskuhálsar fyrir staðgöngu innanlands.
Iðnaðarvinnsla verkjapunkta
Hefðbundnar vinnslulausnir standa frammi fyrir þremur áskorunum:
Í fyrsta lagi er hörku kísilkarbíðs nálægt því sem demantur er og venjulegir borar geta aðeins unnið 3-5 holur áður en þær eru slitnar;
Í öðru lagi, 13:1 dýpt-til-þvermálshlutfallsins gerir það erfitt að fjarlægja flís, sem getur auðveldlega valdið rispum á gataveggnum eða jafnvel brotið borhola;
Í þriðja lagi er kostnaðurinn við innfluttan OEM allt að 28.000 Yuan á stykki og afhendingarferlið er allt að 6 mánuðir, sem takmarkar verulega öryggi innlendrar aðfangakeðju hálfleiðarabúnaðar.
BISHENlausnir
Með hliðsjón af ofur-hörðum og brothættum eiginleikum kísilkarbíðs, tók BISHEN R&D teymið upp á nýstárlegan hátt „úthljóð titring + samþætt PCD bor“ samsett ferli:
20kHz úthljóðshá-tíðni titringurinn dregur úr skurðþolnum um 45% og vinnur með sjálfstætt hönnuðum PCD (fjölkristalluðum demant) bor til að ná stöðugri og stöðugri vinnslu á 102 D0,5 mm örholum og endingartími eins bors er 20 sinnum aukinn
Með því að nota ultrasonic kavitation áhrif til að auka skarpskyggni kælivökva, er holu munnflísum stjórnað innan 0,018 mm, sem er betra en iðnaðarstaðallinn 0,03 mm
Upprunalega hönnunin til að fjarlægja spíralflísarbraut tryggir að ójöfnur holuveggsins Ra Minna en eða jafnt og 0,4μm af 13:1 dýpt-til-þvermáls hlutfalli örholu uppfyllir kröfur um hreinleika- hálfleiðara
Tæknilegt byltingargildi
Þessi vinnslusannprófun hefur náð tveimur stórum áföngum: í fyrsta skipti hefur vinnslukostnaður innlendra kísilkarbíð úðaplötu örhola verið lækkaður í 1/3 af innflutningsverði og afhendingarferlið hefur verið þjappað niður í 15 daga; meira bylting, vinnslumörk dýpt-til-þvermálshlutfalls hafa verið hækkuð úr venjulegu 8:1 í 13:1 iðnaðarins, sem veitir óháða og stjórnanlega hlutaábyrgð fyrir háþróaðan vinnsluflísbúnað undir 5nm.
